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      半導體產線搬運機器人 —— 智能片盒運輸/搬運


      ATR500

      APR500

      ATR500智能片盒運輸設備,能夠自動將最多4盒8寸/12寸片盒在工廠不同區域中進行運輸;APR500智能片盒搬運設備,能夠攜帶兩盒12寸片盒,并將其搬運至工廠不同區域,如貨架、機臺等。智能的避障功能使之尤其能適用于人車協作的生產環境,配置有RFID傳感器,能夠與工廠生產管理系統進行交互。
         產品特征

      ● 操作簡便

      ● 適用于高凈化等級廠房

      ● 物料可追溯

      ● 運載量大

      ● 操作簡便

      ● 安全性高

         主要技術參數
       型號  ATR500  APR500
       運載容量  4盒滿載200mm/300mm Storage Box或FOUP

      兩者可兼容

       2盒滿載300mm FOUP
       引導方式  激光智能引導  激光智能引導

        移動速度

       最高1.3 m/s

      最高0.8 m/s

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