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      300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices制造


      SSB300

      SSB320

      SSB380

      SSB300/30投影光刻机适用于2-6英寸基底LED的PSS和电极光刻工艺,该设备具有高分辨率、高线宽均匀性等特点;SSB320/10投影光刻机专用于LED生产中芯片(Chip)制作光刻工艺,采用超大曝光视场,通过掩模优化设计减少曝光场,减少重复芯片损失,显著提高产能。
         产品特征

      ● 高分辨率,分辨率可达0.8μm

      ● 高速在线MAPPING技术

      ● 高精度拼接

      ● 多尺寸基底自适应切换

      ● 高产能

      ● 高精度套刻

      ● 完美匹配ALIGNER

         主要技术参数
       型号  SSB300  SSB320  SSB380
       分辨率  0.8μm 2μm  1μm
       曝光光源  i-line mercury lamp  i-line mercury lamp i-line mercury lamp
       基底尺寸  2~6 inches  2~6 inches  2~6 inches
       工艺应用  支持LED PAD/PSS工艺 支持LED PAD工艺 支持LED PAD工艺

       可选配置

       背面对准和可变狭缝(Variable Slit)

       背面对准和可变狭缝(Variable Slit)

       背面对准和可变狭缝(Variable Slit)

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