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        300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices制造


        SSB300

        SSB320

        SSB380

        SSB300/30投影光刻机适用于2-6英寸基底LED的PSS和电极光刻工艺,该设备具有高分辨率、高线宽均匀性等特点;SSB320/10投影光刻机专用于LED生产中芯片(Chip)制作光刻工艺,采用超大曝光视场,通过掩模优化设计减少曝光场,减少重复芯片损失,显著提高产能。
           产品特征

        ● 高分辨率,分辨率可达0.8μm

        ● 高速在线MAPPING技术

        ● 高精度拼接

        ● 多尺寸基底自适应切换

        ● 高产能

        ● 高精度套刻

        ● 完美匹配ALIGNER

           主要技术参数
         型号  SSB300  SSB320  SSB380
         分辨率  0.8μm 2μm  1μm
         曝光光源  i-line mercury lamp  i-line mercury lamp i-line mercury lamp
         基底尺寸  2~6 inches  2~6 inches  2~6 inches
         工艺应用  支持LED PAD/PSS工艺 支持LED PAD工艺 支持LED PAD工艺

         可选配置

         背面对准和可变狭缝(Variable Slit)

         背面对准和可变狭缝(Variable Slit)

         背面对准和可变狭缝(Variable Slit)