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        长短寸测量设备 —— 长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量


        SOM255/10

        SOM245/10

        SOM200系列长短寸测量设备配合光刻机,用于长寸测量兼容短寸和光刻胶膜厚测量。
           产品特征

        ● 多功能测量,长寸测量同时兼容CD/Overlay测量及光刻胶膜厚测量

        ● 高测量精度,CD测量重复性30nm,TP测量重复性280nm,满足高分辨率光刻的测量需求

        ● 高测量效率,采用桥式结构,更稳定更高速

        ● 高效的温度控制系统

        ● 快速灵活的客制化服务

           主要技术参数

         型号

        SOM245/10 

         SOM255/10

         CD测量重复性

         30nm@3Sigma

         30nm@3Sigma

        CD测量复现性

        50nm@3Sigma 

         50nm@3Sigma

         TP测量重复性

         280nm@3Sigma

        300nm@3Sigma

         TP测量复现性

        400nm@3Sigma 

        450nm@3Sigma