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        半导体产线搬运机器人 —— 智能片盒运输/搬运


        ATR500

        APR500

        ATR500智能片盒运输设备,能够自动将最多4盒8寸/12寸片盒在工厂不同区域中进行运输;APR500智能片盒搬运设备,能够携带两盒12寸片盒,并将其搬运至工厂不同区域,如货架、机台等。智能的避障功能使之尤其能适用于人车协作的生产环境,配置有RFID传感器,能够与工厂生产管理系统进行交互。
           产品特征

        ● 灵活性高

        ● 适用于高净化等级厂房

        ● 运载量大

        ● 操作简便

        ● 物料可追溯

        ● 安全性高

           主要技术参数

        型号

        ATR500 

        APR500 

        运载容量

        4盒满载200mm/300mm Storage Box或FOUP两者可兼容

        2盒满载300mm FOUP

        引导方式

        激光智能引导

        激光智能引导

        移动速度

         最高1.3 m/s

         最高0.8 m/s